■记者 居丹荔

本报讯 昨天，2024年度浙江省科学技术奖结果公布。我市华芯（嘉兴）智能装备有限公司作为第一完成单位的《大尺寸晶圆先进制程高效搬运与精准定位关键技术及装备》重大科技成果，在众多项目中脱颖而出，成功斩获浙江省科学技术进步奖一等奖，成为今年嘉兴唯一荣获浙江省科学技术进步奖一等奖的企业。另有浙江晨光电缆股份有限公司、天坤营造（嘉兴）股份有限公司等4家公司的科技成果，成功获评浙江省科学技术进步奖三等奖。获奖级别和数量均列嘉兴五县两区首位。

此次华芯智能获评的一等奖，是我市在浙江省科学技术进步奖评选中实现的历史性突破，充分彰显了平湖科技创新的强劲活力和丰硕成果。

自2016年落户平湖以来，华芯智能就坚持深耕细作，专注半导体晶圆自动物料传输系统（AMHS）的研发、生产与产业化，以技术创新突破行业瓶颈，逐步成长为细分领域的标杆企业。

晶圆制造是半导体产业的核心环节，制造过程技术门槛高、工艺复杂度高，特别是大尺寸晶圆的制造更是要求严苛。12英寸晶圆是目前国际上技术最先进的晶圆规格，生产过程需经过3000道以上的精密工序，仅物料传输环节就需要1000辆天车，在总长度达20至30公里的轨道上完成20万至50万次物料搬运作业，对传输系统的效率、精度和稳定性有极大考验。

“多年来，我们始终在AMHS细分赛道精益求精，持续提升产品的效率与稳定性，全力突破国外技术垄断。”华芯（嘉兴）智能装备有限公司董事长助理吕海波说，经过多年研发积累，华芯智能研发的12英寸晶圆自动物料传输系统已达到国际领先水平，成功打破国外企业在该领域的技术封锁，目前已与多家半导体头部企业达成深度合作，订单排期已至今年6月。

此次以第一完成单位斩获省科技进步奖一等奖，是对公司近年来持续加大研发投入、深耕核心技术的充分肯定。多年来，华芯智能始终对标国际先进水平，高度重视研发创新，目前公司本科及以上专职研发人员占比超80%，每年研发投入占比超50%，研发实力雄厚。去年，公司还成功承接国家科技重大专项，进一步夯实了技术领先优势。

“此次获奖，意味着我们的技术和产品得到了‘官方认可’，不仅提升了企业的行业影响力，更为我们后续的研发生产注入了强大信心。”吕海波说，目前，公司正在现有技术基础上持续突破，积极推动数字孪生、AI模型等新技术与AMHS系统的深度融合。项目成功投产后，预计可帮助集成电路制造企业节省约20%的生产成本，进一步推动我国半导体产业降本增效、高质量发展。

亮眼成绩的背后，是平湖持之以恒的政策扶持与精准服务。近年来，我市始终把推动科技成果转化、激发企业创新活力作为工作重点，不断强化政策保障、优化服务举措。去年，还专门出台科技成果转化相关扶持政策，明确激励导向，鼓励企业加大研发投入、加快成果转化应用。

“我们坚持早启动、早部署、早准备，针对参评企业的申报需求，精准对接行业专家提供专业指导，帮助企业梳理核心优势、完善申报材料，全力提升申报质量。”市科技局党组成员、副局长金林弟说，考虑到省科技进步奖评选需企业提供连续三年的数据成果，我市建立了常态化企业评估帮扶机制，结合企业综合发展情况，量身定制成长方案，对重点项目、重点企业进行精准对接、全程跟进，助力企业高质量申报。